Большой англо-русский и русско-английский словарь
microfabrication technique, microstructure (fabrication) technique, microfabrication technology
Англо-русский словарь технических терминов
microfabrication technique, microstructure (fabrication) technique, microfabrication technology
Русско-английский политехнический словарь
microfabrication technique, microstructure (fabrication) technique, microfabrication technology