Большой англо-русский и русско-английский словарь
1) металлизация катодным распылением
2) метал. распыление катодное
3) набрызг
Англо-русский словарь технических терминов
1)катодное распыление
2)разрушение катода
English-Russian big polytechnic dictionary
катодное распыление
sputtering of metals — распыление металлов
sputtering voltage — напряжение распыления
reactive sputtering — реактивное распыление
sputtering target — мишень ионного распыления
magnetron sputtering — магнетронное распыление