Большой англо-русский и русско-английский словарь
очистка (ионной) бомбардировкой;
очистка тлеющим разрядом
Англо-русский словарь технических терминов
очистка (ионной) бомбардировкой; очистка тлеющим разрядом
«bombardment cleaning»
bombardment cleaning в энциклопедиях