Большой англо-русский и русско-английский словарь
эл. фотолитография интегральных схем (электроника) фотолитография интегральных схем
Новый большой англо-русский словарь
[͵fəʋtəʋfæbrıʹkeıʃ(ə)n] n элк.
фотолитография интегральных схем
Англо-русский словарь технических терминов
1)изготовление ИС методом фотолитографии
2)фотохимическая обработка
English-Russian big polytechnic dictionary
фотохимическая обработка