Большой англо-русский и русско-английский словарь
установка (для) последовательного шагового мультиплицирования (на пластину)
Англо-русский словарь технических терминов
установка (для) последовательного шагового мультиплицирования (на пластину)
«wafer-stepper system»
wafer-stepper system в энциклопедиях