Большой англо-русский и русско-английский словарь
однократная ионная имплантация;
имплантация ионов одной примеси
Англо-русский словарь технических терминов
однократная ионная имплантация; имплантация ионов одной примеси
«single-ion implantation»
single-ion implantation в энциклопедиях