Большой англо-русский и русско-английский словарь
толстая пленка (электроника) толстопленочный
Новый большой англо-русский словарь
[͵θıkʹfılm] элк.
толстоплёночный
Англо-русский словарь технических терминов
1)толстая плёнка
2)толсто-плёночная гибридная ИС