Большой англо-русский и русско-английский словарь
субмикронная геометрия ИС, геометрия ИС с элементами субмикронного размера
Англо-русский словарь технических терминов
субмикронная геометрия ИС, геометрия ИС с элементами субмикронного размера
«submicron geometry»
submicron geometry в энциклопедиях