Большой англо-русский и русско-английский словарь
1. подача и транспортировка полупроводниковых пластин
2. обработка полупроводниковых пластин
Англо-русский словарь технических терминов
1)подача и транспортировка полупроводниковых пластин
2)обработка полупроводниковых пластин