Большой англо-русский и русско-английский словарь
напыление тонкопленочных покрытий;
осаждение тонкопленочных покрытий
Англо-русский словарь технических терминов
напыление тонкоплёночных покрытий; осаждение тонкоплёночных покрытий
«thin film deposition»
thin film deposition в энциклопедиях