Большой англо-русский и русско-английский словарь
установка совмещения (и экспонирования), установка фотолитографии
Англо-русский словарь технических терминов
установка совмещения (и экспонирования), установка фотолитографии
English-Russian big polytechnic dictionary
установка фотолитографии
projection aligner — установка проекционной фотолитографии
contact aligner — установка контактной фотолитографии