Большой англо-русский и русско-английский словарь
элн источник-испаритель (в установке введения примесей методом испарения)
Англо-русский словарь технических терминов
электрон. источник-испаритель(в установке введения примесей методом испарения)
English-Russian big polytechnic dictionary
испаритель
vapor source — источник напыляемого материала; испаритель