Большой англо-русский и русско-английский словарь
сверхчистое [стерильно чистое] (производственное) помещение
Англо-русский словарь технических терминов
сверхчистое [стерильно чистое\] (производственное) помещение
«superclean-space room»
superclean-space room в энциклопедиях