Большой англо-русский и русско-английский словарь
sputtering target
Англо-русский словарь технических терминов
(установки) sputtering target
Русско-английский политехнический словарь
(установки) sputtering target
«мишень ионного распыления»
мишень ионного распыления в энциклопедиях