Большой англо-русский и русско-английский словарь
сокр. [low-pressure chemical vapor deposition] химическое осаждение из паровой [газовой] фазы при пониженном давлении
Англо-русский словарь технических терминов
сокр. от low-pressure chemical vapor deposition
химическое осаждение из паровой [газовой\] фазы при пониженном давлении