Большой англо-русский и русско-английский словарь
1. пила для резки полупроводниковых пластин (на кристаллы)
2. установка для резки полупроводниковых пластин (на кристаллы)
Англо-русский словарь технических терминов
1)пила для резки полупроводниковых пластин (на кристаллы)
2)установка для резки полупроводниковых пластин (на кристаллы)