Большой англо-русский и русско-английский словарь
осаждение эпитаксиального слоя, эпитаксиальное осаждение
Англо-русский словарь технических терминов
осаждение эпитаксиального слоя, эпитаксиальное осаждение
«epitaxial deposition»
epitaxial deposition в энциклопедиях