Большой англо-русский и русско-английский словарь
microfabricator, microfabrication machine, microfabrication system
Русско-английский политехнический словарь
microfabrication machine электрон., microfabrication system, microfabricator
«установка для микрообработки»
установка для микрообработки в энциклопедиях