Большой англо-русский и русско-английский словарь
безмасляная (вакуумная) откачка, проф. "чистая" откачка
Англо-русский словарь технических терминов
безмасляная (вакуумная) откачка, проф. "чистая" откачка
«clean pumping»
clean pumping в энциклопедиях