Большой англо-русский и русско-английский словарь
сокр. [plasma enhanced chemical vapor deposition] плазмохимическое осаждение из паровой [газовой] фазы
Англо-русский словарь технических терминов
сокр. от plasma enhanced chemical vapor deposition
плазмохимическое осаждение из паровой [газовой\] фазы