Большой англо-русский и русско-английский словарь
1. покрытие фоторезистом, нанесение фоторезиста
2. слой фоторезиста
Англо-русский словарь технических терминов
1)покрытие фоторезистом, нанесение фоторезиста
2)слой фоторезиста
«photoresist coating»
photoresist coating в энциклопедиях