Большой англо-русский и русско-английский словарь
1. метод фотолитографии
2. технология фотолитографии
Англо-русский словарь технических терминов
1)метод фотолитографии
2)технология фотолитографии
«photoresist-processing technique»
photoresist-processing technique в энциклопедиях