Большой англо-русский и русско-английский словарь
эпитаксиальное заполнение
Англо-русский словарь технических терминов
эпитаксиальное заполнение
English-Russian big polytechnic dictionary
заполнение канавок эпитаксиальным материмлом
drain and refill — заполнение и опорожнение (для достижения норм ВХР)