Большой англо-русский и русско-английский словарь
загрузка партии полупроводниковых пластин (в технологическую установку)
Англо-русский словарь технических терминов
загрузка партии полупроводниковых пластин(в технологическую установку)
«wafer load»
wafer load в энциклопедиях