Большой англо-русский и русско-английский словарь
1. плазменная очистка
2. плазменное удаление слоя (напр. резиста)
Англо-русский словарь технических терминов
1)плазменная очистка
2)плазменное удаление слоя(напр. резиста)
«plasma stripping»
plasma stripping в энциклопедиях