Большой англо-русский и русско-английский словарь
сокр. [electron-beam lithography] электронно-лучевая литография
Англо-русский словарь технических терминов
сокр. от
electron-beam lithography
электронно-лучевая литография
Deutsch-Russisch Wörterbuch der Astronomie
астр. → Eigenbewegungs-Lexikon