Большой англо-русский и русско-английский словарь
технология (изготовления полупроводниковых приборов) с переменным [модулируемым] профилем примесей
Англо-русский словарь технических терминов
технология(изготовления полупроводниковых приборов) с переменным [модулируемым\] профилем примесей