Большой англо-русский и русско-английский словарь
микрообработка - electron-beam micromachining - ion-beam micromachining (техническое) тонкая размерная обоработка (электроника) обработка элементов микросхем
Новый большой англо-русский словарь
[ʹmaıkrə(ʋ)mə͵ʃi:nıŋ] n
1. тех. тонкая размерная обработка
2. элк. обработка элементов микросхем
English-Russian big polytechnic dictionary
механическая микрообработка