Большой англо-русский и русско-английский словарь
1. осаждение из паровой (газовой) фазы
2. вакуумное осаждение;
вакуумное напыление
3. вакуумная металлизация
English-Russian big polytechnic dictionary
нанесение покрытия осаждением из паров
vapor-phase deposition — осаждение из газовой (паровой) фазы
fluidized bed deposition — нанесение покрытия в кипящем слое
evaporative deposition — осаждение из газовой (паровой) фазы
thin film deposition — напыление тонкоплёночного покрытия
vacuum deposition technique — метод вакуумного осаждения