Юридическая энциклопедия
Лазерный эллипсометр: прибор оптического неразрушающего контроля, предназначенный для измерения толщины и (или) показателя преломления прозрачных пленок поляризационным методом
Источник: " ГОСТ Р 53696-2009. Национальный стандарт Российской Федерации. Контроль неразрушающий. Методы оптические. Термины и определения"
(утв. и введен в действие Приказом Ростехрегулирования от 15.12.2009 № 1100-ст)