Словарь металлургических терминов
Physical vapor deposition.
См. Осаждение из паровой фазы.
Большой англо-русский и русско-английский словарь
конденсация из паровой (газовой) фазы
Англо-русский словарь технических терминов
конденсация из паровой (газовой) фазы