«Химическое покрытие паром»

Химическое покрытие паром в энциклопедиях

Поделиться

Словарь металлургических терминов

Chemical vapor deposition (CVD) — Химическое покрытие паром.

Процесс нанесения покрытия подобно газовой карбюризации и нитроцементации путем подачи газообразного реагента в камеру обработки, где он контактирует с поверхностью заготовки, выделяя материал для абсорбции или аккумулирования на рабочей поверхности. Оставшийся газ удаляется из камеры обработки, вместе с избыточным газом атмосферы.