Deutsch-Russische Wörterbuch polytechnischen
f
установка бесконтактного экспонирования [бесконтактной фотолитографии]; установка фотолитографии с микрозазором [на микрозазоре]
Abstandsbelichtungsanlage в энциклопедиях
f
установка бесконтактного экспонирования [бесконтактной фотолитографии]; установка фотолитографии с микрозазором [на микрозазоре]