Deutsch-Russische Wörterbuch polytechnischen
f
(вакуумная) установка ионного распыления; установка ионно-плазменного распыления; установка ионно-плазменного нанесения тонких плёнок
Sputteranlage в энциклопедиях
f
(вакуумная) установка ионного распыления; установка ионно-плазменного распыления; установка ионно-плазменного нанесения тонких плёнок