Deutsch-Russische Wörterbuch polytechnischen
минимальный топологический размер, минимальный размер элемента структуры; минимальная ширина (линии) элемента (топологической) структуры
minimale Strukturgröße в энциклопедиях
минимальный топологический размер, минимальный размер элемента структуры; минимальная ширина (линии) элемента (топологической) структуры