Deutsch-Russische Wörterbuch polytechnischen
n
формирование изображения [топологического рисунка] с помощью сканирующего электронного луча непосредственно на пластине [шаблоне], сканирующая электронолитография
«Elektronenstrahldirektschreiben»
Elektronenstrahldirektschreiben в энциклопедиях