Deutsch-Russische Wörterbuch polytechnischen
литографический [топологический] слой(структуры ИС, получаемый при экспонировании через шаблон в процессе литографирования)
lithografische Ebene в энциклопедиях
литографический [топологический] слой(структуры ИС, получаемый при экспонировании через шаблон в процессе литографирования)