Deutsch-Russische Wörterbuch polytechnischen
f
электронно-лучевое экспонирование с непосредственным формированием изображения [топологического рисунка] на пластине, прямое экспонирование электронным пучком; сканирующая электронолитография
«Elektronenstrahldirektbelichtung»
Elektronenstrahldirektbelichtung в энциклопедиях