English-Russian big polytechnic dictionary
автоматизированная установка
contact aligner — установка контактной фотолитографии
projection aligner — установка проекционной фотолитографии
proximity aligner — установка контактной фотолитографии с зазором
projection imaging aligner — установка проекционной фотолитографии
full-wafer aligner — установка совмещения по всему полю п/п пластины