English-Russian big polytechnic dictionary
1. установка фотолитографии с полным контактом
automask aligner — автоматизированная установка
contact aligner — установка контактной фотолитографии
projection aligner — установка проекционной фотолитографии
2. установка контактной фотолитографии без зазора
proximity aligner — установка контактной фотолитографии с зазором