English-Russian big polytechnic dictionary
литография фокисируемым ионным пучком
full-wafer lithography — литография по всему полю пластины
electron-beam lithography — электронно-лучевая литография
beamwriter lithography — литография сканированием пучка
dual-surface lithography — двусторонняя литография
five-color lithography — пятицветная литография