Большой энциклопедический политехнический словарь
- интегральная схема, все элементы и межэлементвые соединения к-рой выполнены в виде плёнок, нанесённых на поверхность диэлектрич. (чаще всего керамич.) подложки. В зависимости от технологии изготовления и толщины плёнок выделяют тонкоплёночные (толщина менее 1 мкм) и толстоплёночные (толщина обычно 1 - 25 мкм) микросхемы. Тонкоплёночные ИС получают вакуумным напылением (осаждением) плёнок через металлич. трафарет либо напылением в сочетании с последующей фотолито-графич. обработкой; толстоплёночные - преим. нанесением на подложку электропроводящих, резистивных и диэлектрич. паст с последующим вжиганием. П. и. с. состоят, как правило, только из пассивных элементов (см. Электро- и радиоэлементы), т. к. нанесение монокристаллич. ПП плёнок для формирования активных элементов не обеспечивает необходимого их качества.
Юридическая энциклопедия
113) пленочная интегральная схема - набор элементов схемы и металлических соединений, образованных посредством нанесения толстой или тонкой пленки на изолирующую подложку (категория 3);
Источник: Приказ ФТС России от 27.03.2012 № 575 (редакция от 30.10.2012) "О контроле за экспортом товаров и технологий двойного назначения, которые могут быть использованы при создании вооружений и военной техники и в отношении которых осуществляется экспортный контроль"