Энциклопедический словарь нанотехнологий
Статьи
- диэлектрик
- лаборатория на чипе
- литография
- микроморфология
- нанометр
- нанофотоника
- оптический пинцет
- фокусированный ионный пучок
Методы обработки и формирования структур с прецизионным позиционированием (нанолитография, нанообработка, нанопечать, наноструйная техника и другое) в энциклопедиях