Толковый словарь Ефремовой
Первая часть сложных имен существительных, вносящая значение сл.: вакуумный (ва́куум-аппара́т, ва́куум-ка́мера и т.п.).
Энциклопедический словарь
ВАКУУМ- Первая часть сложных слов. Обозначает отнесённость к вакууму, пространству с выкачанным воздухом; вакуумный. Вакуум-аппарат, вакуум-камера, вакуум-измерительный, вакуум-костюм, вакуум-насос, вакуум-процесс, вакуум-установка, вакуум-фильтр, вакуум-формирующий.