Толковый словарь Ефремовой
м.
Шаблон, изготовленный с помощью фотографии [фотография I 1.].
Большой англо-русский и русско-английский словарь
photomask
Энциклопедический словарь
ФОТОШАБЛО́Н -а; м. Шаблон, изготовленный фотографическим способом. Ф. для интегральных схем.
Большой энциклопедический политехнический словарь
(от фото... и шаблон) - стеклянная пластина с нанесённым на её поверхности маскирующим слоем - покрытием заданной конфигурации, непрозрачным для оптич. излучения. Используется для локального экспонирования светом поверхности подложки в процессе фотолитографии при изготовлении интегральных схем, запоминающих устройств и т. д. Материалом маскирующего слоя Ф. обычно служат хром, оксиды хрома, железа и Др.
Русско-английский политехнический словарь
exposure mask, optical mask, photoengraving mask, photographic mask, mask, photomask, phototemplate, phototool, plate электрон.
* * *
фотошабло́н м.mask
совмеща́ть фотошабло́н — align a mask