Физическая энциклопедия
- ИОННО-ИОННАЯ ЭМИССИЯ
-
испускание ионов (вторичных) поверхностью тв. тела при облучении её потоком ионов (первичных). В составе вторичных ионов наблюдаются отражённые первичные ионы, изменившие при отражении знак заряда (конверсия ионов), а также ионы примесных в-в облучаемой мишени. Количеств. хар-ка И.-и. э.— коэфф. И.-и. э., равный отношению потоков вторичных ионов к первичным. Его величина зависит от материала и темп-ры мишени, её хим. состава, кинетич. энергии и угла падения первич. ионов.
Энциклопедический словарь
ИОННО-ИОННАЯ ЭМИССИЯ
ИО́ННО-ИО́ННАЯ ЭМИ́ССИЯ (вторичная ионная эмиссия), испускание ионов конденсированной средой при бомбардировке ее ионами. Используется для анализа состава и структуры поверхности, а также для анализа распределения элементов по глубине во вторичной ионной масс-спектрометрии.