Большой немецко-русский и русско-немецкий словарь
f =
1)разъединение, разобщение
2)расчленение, детализация
Deutsch-Russische Wörterbuch polytechnischen
f
разделение (полупроводниковых пластин на кристаллы)
«Vereinzelung»
Vereinzelung в энциклопедиях