Англо-русский словарь технических терминов
электронно-лучевая микролитография
«E-beam [electron-beam] microfabrication»
E-beam [electron-beam] microfabrication в энциклопедиях
E-beam [electron-beam] microfabrication в энциклопедиях
электронно-лучевая микролитография