Англо-русский словарь технических терминов
геометрия ИС с элементами уменьшенного размера
Англо-русский словарь технических терминов
геометрия ИС с элементами уменьшенного размера
«fine(-line) [fine-pattern] geometry»
fine(-line) [fine-pattern] geometry в энциклопедиях