Большой англо-русский и русско-английский словарь
камера для осаждения (пленок в вакууме)
Англо-русский словарь технических терминов
электрон. камера осаждения тонких плёнок
English-Russian big polytechnic dictionary
вакуумная камера для осаждения тонких пленок
oven chamber — камера печи
lock chamber — камера шлюза
gas chamber — газовая камера
mill chamber — камера помола
mine chamber — минная камера